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CHRISTO-LUBE® 含氟润滑剂 - 半导体制造

ECL 工程师的提示和建议

工艺室和晶圆处理

为了避免代价高昂的污染和停工,用于晶圆生产过程操作的润滑剂必须具有广泛的材料相容性、高腐蚀性化学物质环境中出色的稳定性、低力矩、低蒸汽压力(10-12 托,25˚C 时)和极低真空挥发率,以适应 1-10 级洁净室环境要求。

CHRISTO-LUBE® MCG 159
-20 ℃ 至 260 ℃
CHRISTO-LUBE® MCG 109
-65 ℃ 至 250 ℃
CHRISTO-LUBE® MCG 1037N
-50 ℃ 至 260 ℃
CHRISTO-LUBE® MCG 111
-60 ℃ 至 230 ℃

齿轮和轴承

使用含氟润滑脂可确保低扭矩、低动力输出和最小发热量,马达、阀门和齿轮可以更好地工作。含氟润滑脂也与各种常用的轴承和齿轮构造材料相容。

CHRISTO-LUBE® MCG 200
-30 ℃ 至 230 ℃
CHRISTO-LUBE® MCG 709
-65 ℃ 至 250 ℃
CHRISTO-LUBE® MCG 126
-15 ℃ 至 240 ℃
CHRISTO-LUBE® MCG 1030
-23 ℃ 至 260 ℃

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完成产品说明。

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