CHRISTO-LUBE^® 含氟润滑剂 - 半导体制造

ECL 工程师的提示和建议

工艺室和晶圆处理

为了避免代价高昂的污染和停工，用于晶圆生产过程操作的润滑剂必须具有广泛的材料相容性、高腐蚀性化学物质环境中出色的稳定性、低力矩、低蒸汽压力（10-12 托，25˚C 时）和极低真空挥发率，以适应 1-10 级洁净室环境要求。

齿轮和轴承

使用含氟润滑脂可确保低扭矩、低动力输出和最小发热量，马达、阀门和齿轮可以更好地工作。含氟润滑脂也与各种常用的轴承和齿轮构造材料相容。